10 氣體供應

　　10.1 一般規定

　　10.1.1 潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。

　　10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。

　　10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統，除應符合本規范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關規定。

　　10.1.4 潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

　　10.1.5 潔凈室(區)內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室(區)的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

　　10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間;當必須穿過時應設套管或雙層管。

　　10.1.7 高純氣體管道設計應符合下列規定：

　　1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

　　2 不得出現不易吹除的“盲管”等死空間，

　　3 管道系統應設置吹掃口和取樣口。

　　10.1.8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施：

　　1 可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖;

　　2 接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施;

　　3 引至室外的放散管，應設置防雷保護設施，

　　4 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.1.9 氣體過濾器應根據產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。

　　10.2 常用氣體系統

　　10.2.1 常用氣體供應系統宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態氣體、瓶裝氣體。

　　10.2.2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

　　10.2.3 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：

　　1 氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇;

　　2 氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建;

　　3 各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內;

　　4 氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

　　10.2.4 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

　　10.2.5 氣體純化間(站)或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：

　　1 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施;

　　2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥;

　　3 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置;

　　4 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯鎖;

　　5 應設置導除靜電的接地設施。

　　10.2.6 潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：

　　1 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理;

　　2 應設置導除靜電的接地設施;

　　3 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

　　10.2.7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室(區)內，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

　　10.2.8 氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇，宜符合下列規定：

　　1 氣體純度大于或等于99.999999%時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥;

　　2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時，宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;

　　3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時，宜采用內壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥;

　　4 氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

　　10.2.9 氣體管道連接，應符合下列規定：

　　1 管道連接應采用焊接，

　　2 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;

　　3 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

　　10.3 干燥壓縮空氣系統

　　10.3.1 潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定，

　　1 供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量;

　　2 供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;

　　3 供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;

　　4 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機;

　　5 含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

　　10.3.2 干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于-76℃時，應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管;露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

　　10.3.3 管道連接應符合下列規定：

　　1 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊;

　　2 含水量露點嚴于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

　　3 當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

　　10.4 特種氣體系統

　　10.4.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體供應，在電子工廠內應設置儲存、分配系統。

　　10.4.2 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區)分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

　　10.4.3 潔凈室(區)內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置，應符合下列規定：

　　1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續機械排風的特氣柜中;

　　2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源;

　　3 一個特氣分配系統供多臺生產設備使用時，應設置多路閥門箱;

　　4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規范第10.1和10.2節的有關規定。

　　10.4.4 特種氣體分配系統應設置吹掃盤，并應符合下列規定：

　　1 應設置應急切斷裝置;

　　2 應設置過流量控制裝置，

　　3 應設置手動隔離閥;

　　4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統;

　　5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

　　10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定：

　　1 儲存區應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上;

　　2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m;

　　3 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。